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尼康:跟ASML打价格战,低价抢占光刻机市场

曾几何时尼康也是光刻机巨头,但进入深紫外DUV光刻机时代后,ASML阿斯麦独占了全球光刻机市场8成份额,为了抢夺份额,尼康要打价格战了。


根据《日经新闻》报道,尼康新任CEO大村泰弘表示,尼康要与ASML在深紫外(DUV/ArF)光刻机领域打价格战,抢夺市场份额——“我们可以打价格战,即便降价销售,依旧能够保证可观的利润。”同时他还表示,尼康优势在于零部件高度自主生产,能够形成成本优势,目前公司正在与美洲、亚洲多家主流芯片制造商展开谈判,争取ArF光刻机新订单。

大村泰弘是今年4月份上任尼康CEO,同时是尼康代表董事、社长,是在1992年加入尼康,2016年任半导体装置事业部开发统括部 光学设计部长,2017年升任光学本部长。在此前他曾坦言ArF光刻机业务上过分依赖英特尔订单,未能在其他客户群体中建立良好口碑。除了光刻机上打价格战,大村泰弘上任后还有一个大动作,出售MRMC给一家英国投资公司。


NSR-S333F

目前尼康最新一代光刻机是NSR-S333F,这是一款ArF(氟化氩)扫描式光刻机,于去年9月发布,计划在今年下半年上市,结合了ArF液浸式光刻机的平台与“NSR-S322F”的光学系统,按照尼康官方介绍这款机器能够每小时处理300片以上晶圆(300 mm晶圆、96shot),重合精度MMO更是小于4nm。

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