在IEDM2024大会上,台积电揭开了其2nm工艺的神秘面纱,详细介绍了关键技术细节和性能指标:与3nm工艺相比,晶体管密度提升15%,在相同功耗下性能提高15%,而在相同性能下功耗降低24-35%。这是台积电首次采用全环绕栅极(GAA)纳米片晶体管,这一技术有助于优化通道宽度,实现性能与能效的平衡。
新工艺还引入了NanoFlexDTCO,这是一种设计技术联合优化,能够开发出更矮、能效更优或更高性能的单元。台积电2nm工艺还集成了第三代偶极子,包括N型和P型,支持六个电压阈值档(6-Vt),范围在200mV。这些改进使得N型和P型纳米片晶体管的I/CV速度分别提升了70%和110%。
相较于传统的FinFET晶体管,新工艺的纳米片晶体管在0.5-0.6V的低电压下能效显著提升,频率可提高约20%,待机功耗降低约75%。SRAM密度也创下了新高,达到每平方毫米约38Mb。台积电2nm工艺还采用了全新的MOL中段工艺和BEOL后段工艺,电阻降低20%,进一步提高了能效。
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